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Anwendungsbeispiele Deutsch
- Dies hat auch, mit den Verzögerungen in der nächsten Generation von Lithografietechniken wie EUV- und Nanoprägelithografie zu tun.
- Dazu gehören beispielsweise die EUV-, Elektronenstrahl- und Nanoprägelithografie.
- Die Nanoprägelithografie ([...] , kurz NIL) ist ein Nanolithografie-Verfahren zum kostengünstigen Herstellen von Nanostrukturen mittels eines nanostrukturierten Stempels.
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