Übersetzung für 'Elektronenstrahllithographie' von Deutsch nach Russisch

Elektronenstrahllithographie {f} <ESL>

электронно-лучевая литография {ж}физ.

• Ihre Diplomarbeit schrieb sie 1991 zum Thema "Nanostrukturierung von Halbleiteroberflächen mittels Elektronenstrahllithographie".
• 1971 schlug er die Verwendung der damals gerade für die Chipproduktion entwickelten Elektronenstrahllithographie für die Herstellung von Fresnel-Zonenplatten für Röntgenmikroskope vor.
• 1980 promovierte er am Institut für Angewandte Physik mit einer Dissertation über Elektronenstrahllithographie.
• Zur Herstellung eignet sich in dieser Anwendung besonders die Raster-Elektronenstrahllithographie, da nur wenige Proben als Forschungsobjekte benötigt werden und die erforderliche Strukturgröße mit einer 100 nm breiten Engstelle mit optischen Lithografieverfahren normalerweise nicht erreicht wird.
• Daher gehören Elektronenstrahllithographie-Systeme und Anlagen zur Wafer- bzw.

• Die Herstellung erfolgt durch Elektronenstrahllithographie und Lift-off-Verfahren.