Übersetzung für 'Kathodenzerstäubung' von Deutsch nach Russisch

Kathodenzerstäubung {f}

катодное распыление {с}физ.электр.

• Als Substrate kommen Gläser und Kunststofffolien zum Einsatz. Kathodenzerstäubung ist dabei das meist verwendete Verfahren, es kann aber auch durch thermisches Verdampfen aufgetragen werden, wobei bedampfte Bauteile auf bis zu 360 °C erwärmt werden müssen, was vor allem bei Kunststoffen die Anwendbarkeit einschränkt.
• = zerstäuben), auch Kathodenzerstäubung genannt, ist ein physikalischer Vorgang, bei dem Atome aus einem Festkörper (Target) durch Beschuss mit energiereichen Ionen (vorwiegend Edelgasionen) herausgelöst werden und in die Gasphase übergehen.
• Bei normalen Glimmlampen werden die Eisenelektroden durch Kathodenzerstäubung gereinigt, bevor die Lampe fertiggestellt wird.
• Hierbei kommen Verfahren der physikalischen Gasphasenabscheidung (kurz PVD), genauer Elektronenstrahlbedampfung und Sputtern (Sputterdeposition, Kathodenzerstäubung), sowie reaktive Varianten dieser Prozesse zum Einsatz.
• Bei der Kathodenzerstäubung werden in einer Vakuumkammer Gasatome ionisiert.

• Aufschlagende Ionen bleiben entweder auf der Kathode haften und werden dort neutralisiert, oder sie schlagen Material heraus (Kathodenzerstäubung).
• Von der Oberfläche ausgehend wird nach und nach durch Kathodenzerstäubung mit Argonionen die Probe schichtweise abgetragen.
• Ein realer Einwegspiegel ist ein Floatglas, das durch Vakuum-Kathodenzerstäubung (Sputtern) mit einer dünnen Metalloxidschicht beschichtet wurde.
• Am verbreitetsten ist heute eine durch Kathodenzerstäubung aufgebrachte Schicht auf Titanbasis mit blauer Farbe, die deutlich niedrigere Emissionswerte als Schwarzchrom erreicht.
• Beim Auftreffen der Ionen auf die Titan-Oberfläche werden Atome aus der Oberfläche herausgeschlagen („Kathodenzerstäubung“, daher der Name „Ionenzerstäuberpumpe“).

• Nach der Aspirantur bei Grigori Weniaminowitsch Spiwak verteidigte sie 1958 mit Erfolg ihre Dissertation über Prozesse der Kathodenzerstäubung von metallischen Mono- und Polykristallen für die Promotion zur Kandidatin der physikalisch-mathematischen Wissenschaften.
• 1888 gelang ihm erstmals die Herstellung eines Metallspiegels durch Kathodenzerstäubung.
• Das Thema seiner Diplomarbeit war die Kathodenzerstäubung.
• Der Beschuss führt zum Zerstäuben des Substratmaterials; die ablaufenden Prozesse sind dabei ähnlich denen bei der Kathodenzerstäubung (Sputtern), das meist nicht zu den Trockenätzverfahren gezählt wird.